2023年10月26日，第七届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2023）在浙江丽水成功召开。本次会议由中国集成电路创新联盟，中国光学学会主办；中国科学院微电子研究所和丽水经济技术开发区管理委员会承办；浙江富浙资本管理有限公司、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、南京诚芯集成电路技术研究院协办。会议期间，漳州风云特采访了中国集成电路创新联盟理事长曹健林。
以下为采访视频：
本次IWAPS组委会选择在丽水召开，曹健林表示，丽水地处我国东南沿海长三角地区，但由于地处浙西南山区，长期以来交通不便，整个集成电路产业在全球也是一个高技术产业，在丽水这样的地方召开，说明了我国已经走到这样一个发展阶段，高技术产业已经在祖国大地到处都分不开了，而且也得到了祖国大地各地政府的重视。本次会议的召开得到了丽水的党委政府，包括经开区都给予了很多支持，虽然时间不长，但从 2019 年起丽水这里也集中了一批半导体产业企业，发展很快。在这里开会也是对本地半导体产业的一种支持。
谈到当前全球半导体产业面临的问题时，曹健林认为，包括研究、产业发展、应用等在内的全球半导体产业事业当前遇到最大的问题是所谓逆全球化的问题。半导体产业发展到今天，事实上是一个全球化的发展，它的研发、研究、产业，甚至包括一些基础理论、应用都是面向全球市场。中国是最大的一个应用市场，那么迄今为止基础理论的研究，包括一些先发技术的研究，主要还在发展中国家，一些发达国家认为中国可能占便宜了，因此不愿意打破现有格局，打破这种格局的话，对中国的研究和发展的确产生了一定影响。
曹健林强调，整个半导体产业或者半导体事业，包括它的研究，是一种应用牵引和需求牵引，需求牵引就是靠最多最大的市场需求，只有市场大了才能产生一些新的需求，只有市场大了，才能产生足够量的需求，然后不断发现所谓原理，在有些技术突破之后，不断的扩大生产，在解决扩大生产降低成本中碰到的问题。发达国家与中国脱钩，可能会使得中国这样的发展中国家，只能在原有的基础上继续补短板，比如一些相关装备、材料、关键技术等对我们采取封锁，这种封锁显然会对我们的发展有影响。但另一方面来讲，这种封锁又促成了中国人自力更生，自主创新，自立自强了，大大提升了全国人民在拥有完整产业链这一点上的共识。
谈到突破卡脖子问题时，曹健林表示，“卡脖子”问题的背后表现为“路径依赖”，即中国走的路都是发达国家走过的路，路径依赖有一定的历史必然性，当你白手起家的时候，一定要去沿着人家的道路去走着看，这样至少不犯错误，因为有人做成了，至少证明这东西是可以做成的。曹健林强调，我们的强项是产品应用，弱项是关键元器件、关键材料、关键装备等，当把这些弱项都补上后，我们要开创一条中国自己的独特道路，打破这个路径依赖。换句话说，等到我们真把我们的材料，装备，关键工艺等短板都补上之后，我们应该重新定义的发展途径来定义这个领域。重新定义发展途径绝不是闭关自守，我们在原有的路径上还愿意和全世界交流。
谈到光刻技术突破时，曹健林表示，世界前沿的光是用EUV短波长的光刻来做，还要和其他工艺密切配合，需要光学工程、精密机械、控制、材料等基础学科的支撑。这些基础中国都具备了，并非不可逾越的门槛，只是缺乏实践的机会。有了学科基础，要把装备做好，是需要时间的，在这方面是我们的弱项。而在光刻机的研制方面，曹健林认为主要的障碍是缺少工程经验。