埃赛力达推出首款适用于340 nm-360 nm波长范围的低释气镜头

新上市的UV F-Theta镜头采用优化的低释气不锈钢设计，适用于UV紫外激光材料加工应用。

以市场为导向的创新光电解决方案工业技术领导者——埃赛力达科技有限公司（Excelitas Technologies® Corp.）近期宣布推出适用于340 nm-360 nm波长范围的LINOS® UV F-Theta Ronar低释气镜头。作为市场上首款采用低释气和不锈钢设计的可现货供应的UV F-Theta镜头，该新镜头比传统产品具有更强的耐用性，可处理更高的UV脉冲能量和超短激光脉冲，适用于半导体、晶片加工和电子显示行业中的激光材料加工应用。

这款低释气UV镜头采用独特的紫外线结构，包括高级熔融石英透镜材料和不锈钢外壳，并结合高端宽带透镜涂层，以实现优异的光学性能。此外，镜头的设计还优化并最大限度地减少了背向反射，以避免损坏扫描镜。镜头的封装和防尘盖材料也实现了低释气性能。

其主要产品特性包括：

• 低释气设计、生产和装配最大程度地减少了精密紫外线工艺中的污染，同时由于减少了镜片中的污染物从而延长了使用寿命。
• 可用于高端紫光激光应用，如半导体制造、平板显示器和太阳能电池制造。
• 针对340 nm-360 nm的UV波长和高端宽带涂层进行了优化设计，适用于各种类型的激光器，包括盘式激光器、光纤激光器和DSSP激光器，以及晶圆切割、退火和太阳能电池加工应用。
• 能够处理更高功率（高达100W）和短脉冲（≥500飞秒），从而可实现冷激光加工并最大限度地减少热影响区（HAZ），提高激光加工精度。
• 先进的生产工艺确保最少的释气和长期的光学稳定性。
• 优化的背反射技术最大程度地减少了对扫描镜的损坏并延长了使用寿命。

“我们很高兴推出波长范围为340 nm-360 nm的低释气UV F-Theta Ronar镜头，这是我们用于激光材料加工的LINOS F-Theta-Ronar镜头产品线的最新成员。¨埃赛力达应用工程师Matthias Koppitz说道：”除了镜框材料具有出色的耐用性之外，我们还大大减少了辅助材料并改进了洁净装配工艺，使得该镜头成为各种紫外激光应用的理想选择。¨

用于340 nm-360 nm波长范围的LINOS UV F-Theta Ronar低释气镜头可与适用于同样波长范围的低释气1x-4x的LINOS UV扩束镜完美匹配。对于无需减少释气的应用，该新品还可提供成本优化的无色铝制版本。