近日,SiC领域2个项目先后宣布扩产、开工:
● 三菱电机:8英寸SiC工厂将于4月开工,总投资55亿元。
● 美尔森:获近1亿政府补贴,投资6.7亿,建40万片SiC衬底工厂。
三菱电机:8吋SiC工厂即将开工
3月13日下午,据“日经新闻”消息,三菱电机将于今年4月,在日本熊本县开工建设新的8英寸SiC工厂,并计划于2026年4月投入运营。
据“行家说三代半”此前报道,三菱电机于2023年3月中旬宣布,计划在5年内投资约1000亿日元(约51亿元人民币)建设一个8英寸SiC工厂,并加强相关生产设施。
资料显示,该新工厂共有六层,总建筑面积约4.2万平方米,将主要负责8 英寸 SiC 晶圆的前端工艺;三菱电机将在全工序段引入自动输送系统,打造生产效率高的生产线,并计划逐步提高产能,目标在2026财年将SiC产能提升5倍(与2022财年相比)。
值得一提的是,该工厂已经“绑定”了Coherent(前 II-VI )的碳化硅衬底产能——
2023年5月,三菱电机与Coherent签署了一份谅解备忘录,Coherent将为三菱电机新工厂供应8英寸n型4H SiC衬底,双方共同致力于扩大8英寸SiC器件的生产规模。
美尔森:投资6.7亿,建40万片SiC衬底工厂
3月12日,欧洲石墨材料和碳化硅衬底供应商美尔森宣布,他们获得了法国政府的投资,将用于SiC衬底项目的产能扩充。
据悉,该笔补贴金额或将超过1200万欧元(约合人民币0.94亿),来自于“法国2023计划”——微电子和通信技术欧洲重要联合利益项目。
美尔森表示,他们计划借此推进p-SiC衬底的研发和工业生产阶段,p-SiC是一种低电阻率多晶SiC衬底,可以与单晶SiC有源层相结合,有助于SiC器件厂商提高产量和晶体管性能。
为提高p-SiC产能,2023至2025年,美尔森预计将投资8500万欧元(约合人民币6.7亿),雇佣80至100名员工,推动法国热讷维耶工厂的产能建设,并在 2027 年之前达到 40万片衬底(150 mm)的潜在制造能力。
据“行家说三代半”了解,美尔森的p-SiC多晶衬底将供应给法国Soitec。2021年11月,美尔森与Soitec达成战略合作伙伴关系,凭借各自在基板和材料方面的经验,双方联合开发的极低电阻率多晶 SiC 衬底将用于Soitec SmartSiC™ 技术设计的 SiC 电力电子元件。